Методы и средства контроля процессов и структур in situ Ч. 1 : учебное пособие для студентов, магистрантов и аспирантов направлений "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Биотехнические системы и технологии" : в 2 ч. /[Д. И. Биленко, О. Я. Белобровая, С. Б. Вениг и др.] ; под общ. ред. Д. И. Биленко, С. Б. Венига ; Саратов. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского