Методы и средства контроля процессов и структур in situ Ч. 2 : учебное пособие для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по направлениям "Физика и астрономия", "Информатика и вычислительная техника", "Электроника, радиотехника и системы связи", "Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии", "Технологии материалов", "Управление в технических системах" : в 2 ч. /[Д. И. Биленко, С. Б. Вениг, Д. В. Терин и др.] ; под общ. ред. Д. И. Биленко, С. Б. Венига ; Саратов. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского