Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (3)
-
Authors
-
Locations
- Абонемент. Депозитарий (2)
- Книгохранилище (2)
- Читальный зал 5 (1)
- Библиотека РФФ (1)
- Факультетская библиотека (1)
-
Item types
- 1 месяц (2)
- 6 месяцев (2)
- Выдается в читальный зал (1)
- 1 неделя (1)
- Выдается по месту хранения (1)
-
Topics
- физико-химические процессы (2)
- Металлы (1)
- Микроэлектронные схемы интегральные (1)
- Оборудование производства электронной техники (1)
- Осаждение из газовой фазы (1)
- Производство (1)
- автоматизированное производство гибкое (1)
- алюминий (1)
- вакуумно-технические требования (1)
- вольфрам (1)
- германий (1)
- диэлектрические пленки (1)
- диэлектрические постоянные (1)
- интегральные микросхемы (1)
- интегральные приборы (1)
- интегральные системы (1)
- интегральные схемы с субстананометровыми топологическими нормами (1)
- интегральные схемы, технология изготовления (1)
- ионные пучки фокусированные (1)
- кремний (1)
- кремний аморфный (1)
- литографические циклы универсальные (1)
- литография на экстремальном ультрафиолетовом излучении (1)
- литография электронная проекционная (1)
- литография электронная сканирующая (1)
- медь (1)
- микроструктуры (1)
- наноимпринт-литография (1)
- нанолитографические методы (1)
- нанолитографические процессы (1)
- нанолитография оптическая (1)
- наноструктурирование поверхностей (1)
- наноштампы (1)
- нитрид кремния (1)
- обработка материалов (1)
- оксинитрид кремния (1)
- очистка материалов (1)
- плазма низкотемпературная (1)
- плазмоактивированные процессы (1)
- поликремний легированный (1)
- поликремний нелегированный (1)
- полупроводниковые гетероструктуры (1)
- полупроводниковые пленки (1)
- производство интегральных микросхем (1)
- скорость травления, измерение (1)
- стекла силикатные (1)
- тантал (1)
- термоактивированные процессы (1)
- техника оптической нанолитографии, ограничения (1)
- технологические маршруты (1)
- Show more
- Show less