Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (4)
- Статьи из сборников (3)
-
Authors
-
Locations
- Читальный зал 5 (2)
- Книгохранилище (2)
- Абонемент. Депозитарий (1)
- Библиотека РФФ (1)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (2)
- Выдается по месту хранения (2)
- 1 неделя (1)
- 1 месяц (1)
- 6 месяцев (1)
-
Topics
- дефектообразование в приборных структурах (2)
- дефекты в кристаллах, классификация (2)
- квантоворазмерные структуры (2)
- кремний на диэлектрике, структуры (2)
- кристаллы бездислокационные (2)
- микротехнологии в микросистемной технике (2)
- микроэлектроника (2)
- наноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание (2)
- нанотехнологии в микросистемной технике (2)
- осаждение диэлектрических слоев (2)
- осаждение тонких пленок (2)
- охрана окружающей среды (2)
- радиационно-термические обработки (2)
- физико-химические методы контроля (2)
- химическое разделение (2)
- Примеси (1)
- Производство (1)
- Химические вещества чистые (1)
- воздух (1)
- высокочистые вещества (1)
- высокочистые материалы для электронной техники (1)
- газовые гидраты атмосферы (1)
- газовые гидраты, образование (1)
- газовые гидраты, структура (1)
- газовые смеси (1)
- газогидратная кристаллизация, метод (1)
- газы благородные, разделение (1)
- гелий, выделение из природного газа (1)
- германий высокочистый (1)
- гетерогенные системы двухфазные (1)
- гидриды летучие (1)
- гидриды неорганические (1)
- глубокая очистка (1)
- глубокая очистка веществ (1)
- двухфазные системы (1)
- дислокационная структура кристаллов (1)
- дистилляционные методы (1)
- дистилляция (1)
- диффузионное легирование полупроводников (1)
- жидкость-пар, система (1)
- ионно-лучевое легирование полупроводников (1)
- контроль качества подложек (1)
- контрольные вопросы (1)
- коэффициенты распределения молекул газовой смеси (1)
- кремний высокочистый (1)
- кристаллизационные методы (1)
- кристаллизация (1)
- легирование полупроводников (1)
- литографические процессы (1)
- литография в микроэлектронике (1)
- Show more
- Show less