Normal view
MARC view
Инженерные основы измерений нанометровой точности Р. Лич ; пер. с англ. А. В. Заблоцкого
Material type: TextPublication details: Долгопрудный Интеллект 2012Description: 399 с. ил., таблISBN: 9785915591195Subject(s): нанометрология инженерная | нанометровая точность измерений | рельеф поверхности (техн.), средства измерений | макрообъекты | координатно-измерительные машины | лазерная интерферометрия | прецизионные измерения | измерение перемещений | интерферометрия перемещений | датчики | сканирующая зондовая микроскопия | электронная микроскопия | ионная микроскопия | рельеф поверхности, характеризация | метрология координатная | измерение сил | измерение массItem type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 2-057573 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000954390 |
Библиогр. в конце гл.
There are no comments on this title.