Нанотехнологии в микроэлектронике /[Авдеев С. П., Авилов В. И., Агеев В. О. и др.] ; под ред. О. А. Агеева, Б. Г. Коноплёва ; Южный фед. ун-т, Ин-т нанотехнологий, электроники и приборостроения [и др.]

Публикация
Москва : Наука , 2019
Физическое описание
511 с., [12] л. рис.: табл., рис.
Другой Автор
Авдеев, Сергей Петрович
Авилов, Вадим Игоревич 1989-
Агеев, Владислав Олегович 1993-
Коноплев, Борис Георгиевич
Примечания
Авт. указ. на обороте тит. л.
Всего оценка: 0
Место хранения Расст.шифр Части Штрих-код Класс экземпляра Примечание Код коллекции Статус  
Читальный зал №5
621.3 Н254
13820000996730
Выдается в читальный зал
Доступно
Библиотека Радиофизического факультета
621.38 Н254
13820000996731
Выдается в читальный зал
Доступно
 
 
 
04676nam a2200709 i 4500
001
 
 
vtls000673851
003
 
 
RU-ToGU
005
 
 
20200127172200.0
008
 
 
200121s2019    ru a   f b    000 0 rus d
020
$a 9785020402010
035
$a to000673851
039
9
$a 202001271722 $b cat31 $c 202001221753 $d cat02 $y 202001211332 $z cat33
040
$a RU-ToGU $b rus $c RU-ToGU
080
$a 621.315.592-022.532:537.533
080
$a 621.382.049.77-022.532
080
$a 538.971:621.315.592-022.532
245
1
0
$a Нанотехнологии в микроэлектронике $c [Авдеев С. П., Авилов В. И., Агеев В. О. и др.] ; под ред. О. А. Агеева, Б. Г. Коноплёва ; Южный фед. ун-т, Ин-т нанотехнологий, электроники и приборостроения [и др.]
260
$a Москва $b Наука $c 2019
300
$a 511 с., [12] л. рис. $b табл., рис.
500
$a Авт. указ. на обороте тит. л.
504
$a Библиогр. в конце гл.
653
$a наноматериалы
653
$a элементная база электроники
653
$a сверхбольшие интегральные схемы
653
$a ультрабольшие интегральные схемы
653
$a сенсоры многоосевые микромеханические
653
$a нанопьезоэлектроника
653
$a сенсорика микроэлектронная
653
$a нейроморфные системы
653
$a микроэлектроника вакуумная
653
$a нанотехнологии
653
$a эпитаксия молекулярно-лучевая
653
$a лазерное осаждение импульсное
653
$a плазмохимическое осаждение
653
$a сканирующая зондовая микроскопия
653
$a нанолитография зондовая
653
$a ионные пучки фокусированные, метод
653
$a электронно-лучевая обработка
653
$a планарные технологии поверхностной обработки
653
$a углеродные нанотрубки вертикально ориентированные, получение
653
$a углеродные нанотрубки вертикально ориентированные, нанодиагностика
653
$a углеродные нанотрубки вертикально ориентированные, материал наноэлектроники
653
$a наноструктуры самоорганизующиеся, формирование
653
$a нанокристаллические пленки, осаждение
653
$a наноструктуры титана оксидные, эффект мемристорный
653
$a поверхности атомарно-гладкие, формирование
653
$a подложки монокристаллические карбида кремния
653
$a нанокомпозиты полимерные, электропроводность
653
$a наноструктуры автоэмиссионные графеновых пленок
653
$a графеновые пленки
653
$a интегральные логические схемы сверхбыстродействующие
653
$a интегральные логические схемы на основе туннельно-связанных квантовых областей
653
$a наномеханические гироскопы
653
$a наномеханические акселерометры
653
$a датчики инерциальные, технология изготовления
700
1
$a Авдеев, Сергей Петрович
700
1
$a Авилов, Вадим Игоревич $d 1989-
700
1
$a Агеев, Владислав Олегович $d 1993-
700
1
$a Коноплев, Борис Георгиевич $4 edt
852
4
$a RU-ToGU $h 621.3 $i Н254 $n ru
999
$a VIRTUA  
999
$a VTLSSORT0080*0200*0350*0400*0800*0801*0802*2450*2600*3000*5000*5040*6530*6531*6532*6533*6534*6535*6536*6537*6538*6539*65310*65311*65312*65313*65314*65315*65316*65317*65318*65319*65320*65321*65322*65323*65324*65325*65326*65327*65328*65329*65330*65331*65332*65333*7000*7001*7002*7003*8520*9992
Нет комментариев.