МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники /Р. Х. Акчурин, А. А. Мармалюк

Акчурин, Рауф Хамзинович.
Публикация
Москва : Техносфера , 2018
Физическое описание
487 с.: ил., табл.
Другой Автор
Мармалюк, Александр Анатольевич
Серия
Мир материалов и технологий VI-42
Всего оценка: 0
Место хранения Расст.шифр Части Штрих-код Класс экземпляра Примечание Код коллекции Статус  
Читальный зал №5
621.3 А448
13820000983971
Выдается в читальный зал
Доступно
Библиотека Радиофизического факультета
621.3 А448
13820000983972
Выдается в читальный зал
В каталогизации
 
 
 
02678nam a2200445 i 4500
001
 
 
vtls000657437
003
 
 
RU-ToGU
005
 
 
20190614134700.0
008
 
 
190531s2018    ru a   f b    000 0 rus|d
020
$a 9785948365213
035
$a to000657437
039
9
$a 201906141347 $b cat31 $c 201906141347 $d cat31 $c 201906031445 $d cat40 $y 201905311601 $z cat33
040
$a RuMoRGB $b rus $e rcr $d RU-ToGU
041
0
$a rus
080
$a 621.315.592.049.772.1:621.793.162
084
$a З843.308,07 $2 rubbk
084
$a З844.13-060.7,0 $2 rubbk
100
1
$a Акчурин, Рауф Хамзинович
245
1
0
$a МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники $c Р. Х. Акчурин, А. А. Мармалюк
260
$a Москва $b Техносфера $c 2018
300
$a 487 с. $b ил., табл.
490
1
$a Мир материалов и технологий $v VI-42
504
$a Библиогр. в конце гл.
653
$a полупроводниковые материалы, технология
653
$a полупроводниковые структуры, эпитаксиальное выращивание
653
$a интегральные схемы полупроводниковые пленочные
653
$a эпитаксиальные пленки полупроводниковые, нанесение
653
$a МОС-гидридная эпитаксия, метод
653
$a эпитаксиальные структуры полупроводников, формирование
653
$a эпитаксиальные структуры полупроводников наноразмерные, формирование
653
$a эпитаксиальные гетероструктуры полупроводников, формирование
653
$a металлоорганические соединения и гидриды, взаимодействие
653
$a эпитаксиальные слои полупроводников, выращивание
653
$a МОС-гидридная эпитаксия, оборудование
653
$a материалы электронной техники
700
1
$a Мармалюк, Александр Анатольевич
830
0
$a Мир материалов и технологий
852
4
$a RU-ToGU $h 621.3 $i А448 $n ru
999
$a VIRTUA  
999
$a VTLSSORT0080*0200*0350*0400*0410*0800*0840*0841*1000*2450*2600*3000*4900*5040*6530*6531*6532*6533*6534*6535*6536*6537*6538*6539*65310*65311*7000*8300*8520*9992
Нет комментариев.