Формирование a-C:H:SiOx пленок методом плазмохимического осаждения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 01.04.04 /Гренадёров Александр Сергеевич

Гренадеров, Александр Сергеевич
Публикация
Томск : [б. и.] , 2018
Физическое описание
20, [1] с.: ил.
Всего оценка: 0
Место хранения Расст.шифр Части Штрих-код Класс экземпляра Примечание Код коллекции Статус  
Книгохранилище
2-033065
13820000975776
Выдается в читальный зал
Доступно
 
 
 
01208nam a2200253 c 4500
001
 
 
vtls000635543
003
 
 
RU-ToGU
005
 
 
20181101140600.0
008
 
 
181101s2018    ru a   f bm   000 0 rus d
035
$a to000635543
039
9
$y 201811011406 $z cat06
040
$a RU-ToGU $b rus $c RU-ToGU
072
7
$a 01.04.04 $2 nsnr
100
1
$a Гренадеров, Александр Сергеевич
245
1
0
$a Формирование a-C:H:SiOx пленок методом плазмохимического осаждения $b автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 01.04.04 $c Гренадёров Александр Сергеевич
260
$a Томск $b [б. и.] $c 2018
300
$a 20, [1] с. $b ил.
504
$a Библиогр.: с. 19-20
650
7
$a физическая электроника $2 nsnr
653
$a авторефераты диссертаций
710
2
$a Институт сильноточной электроники (Томск)
852
4
$a RU-ToGU $n ru
999
$a VIRTUA  
999
$a VTLSSORT0080*0400*0720*1000*2450*2600*3000*5040*6500*6530*7100*8520*9992
Нет комментариев.
Предмет
физическая электроника