Структура и свойства тонких пленок ZrO2:Y2O3, формируемых методом магнетронного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 01.04.07 /Шапилова Анна Викторовна

Шапилова, Анна Викторовна
Публикация
Томск : [б. и.] , 2018
Физическое описание
22 с.: ил.
Всего оценка: 0
Место хранения Расст.шифр Части Штрих-код Класс экземпляра Примечание Код коллекции Статус  
Книгохранилище
2-033055
13820000975786
Выдается в читальный зал
Доступно
 
 
 
01246nam a2200253 c 4500
001
 
 
vtls000635507
003
 
 
RU-ToGU
005
 
 
20181031201600.0
008
 
 
181031s2018    ru a   f bm   000 0 rus d
035
$a to000635507
039
9
$y 201810312016 $z cat06
040
$a RU-ToGU $b rus $c RU-ToGU
072
7
$a 01.04.07 $2 nsnr
100
1
$a Шапилова, Анна Викторовна
245
1
0
$a Структура и свойства тонких пленок ZrO2:Y2O3, формируемых методом магнетронного распыления $b автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 01.04.07 $c Шапилова Анна Викторовна
260
$a Томск $b [б. и.] $c 2018
300
$a 22 с. $b ил.
504
$a Библиогр.: с. 21-22
650
7
$a Физика конденсированного состояния $2 nsnr
653
$a авторефераты диссертаций
710
2
$a Институт сильноточной электроники (Томск)
852
4
$a RU-ToGU $n ru
999
$a VIRTUA  
999
$a VTLSSORT0080*0400*0720*1000*2450*2600*3000*5040*6500*6530*7100*8520*9992
Нет комментариев.
Предмет
Физика конденсированного состояния