Методы и средства контроля процессов и структур in situ Ч. 2 : учебное пособие для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по направлениям "Физика и астрономия", "Информатика и вычислительная техника", "Электроника, радиотехника и системы связи", "Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии", "Технологии материалов", "Управление в технических системах" : в 2 ч. /[Д. И. Биленко, С. Б. Вениг, Д. В. Терин и др.] ; под общ. ред. Д. И. Биленко, С. Б. Венига ; Саратов. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского

Публикация
Саратов : Издательство Саратовского университета , 2016
Физическое описание
114, [1] с.: ил., табл.
Другой Автор
Биленко, Давид Исаакович
Вениг, Сергей Борисович
Терин, Денис Владимирович
Примечания
Авт. указаны на обороте тит. л.
Серия
Материаловедение и технология новых материалов
Всего оценка: 0
Место хранения Расст.шифр Части Штрих-код Класс экземпляра Примечание Код коллекции Статус  
Читальный зал №5
538.9 М545
13820000973714
Выдается в читальный зал
Доступно
Книгохранилище
2-031536
13820000969868
1 неделя
Доступно
 
 
 
04543nam a2200673 i 4500
001
 
 
vtls000628523
003
 
 
RU-ToGU
005
 
 
20180919165100.0
008
 
 
180607s2016    ru a     b    000 0 rus d
020
$a 9785292042822
020
$a 9785292043935
035
$a to000628523
039
9
$a 201809191651 $b cat31 $c 201806141830 $d cat31 $c 201806071444 $d cat40 $c 201806071104 $d cat20 $y 201806070849 $z cat20
040
$a RU-ToGU $b rus $c RU-ToGU
080
$a 620.22-022.532:519.242(075.8)
080
$a 620.22-022.532:658.562.2/3.012.7(075.8)
080
$a 538.971/975:537.533.35(075.8)
245
1
0
$a Методы и средства контроля процессов и структур in situ $n Ч. 2 $b учебное пособие для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по направлениям "Физика и астрономия", "Информатика и вычислительная техника", "Электроника, радиотехника и системы связи", "Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии", "Технологии материалов", "Управление в технических системах" : в 2 ч. $c [Д. И. Биленко, С. Б. Вениг, Д. В. Терин и др.] ; под общ. ред. Д. И. Биленко, С. Б. Венига ; Саратов. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского
260
$a Саратов $b Издательство Саратовского университета $c 2016
300
$a 114, [1] с. $b ил., табл.
490
1
$a Материаловедение и технология новых материалов
500
$a Авт. указаны на обороте тит. л.
504
$a Библиогр. в конце разд.
653
$a наноструктуры
653
$a микроструктуры
653
$a измерения in situ
653
$a нанометровые слои
653
$a обработка данных измерений высокоскоростная
653
$a управление технологическими факторами
653
$a управление качеством
653
$a управление инновациями
653
$a наноструктуры, мониторинг свойств
653
$a наноструктуры, мониторинг технологии
653
$a математическое описание экспрессное
653
$a разработка технологических процессов научная, методология
653
$a планирование эксперимента многофакторное
653
$a измерения in situ многопараметровые
653
$a измерения in situ параллельные
653
$a массивы данных многомерные
653
$a эллипсометры спектральные
653
$a спектрофотометрия
653
$a нанослои, формирование
653
$a массоперенос локальный
653
$a туннельный эффект
653
$a нанопроволоки серебра
653
$a кремний пористый, образование
653
$a примеси мелкие, концентрация
653
$a рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
653
$a окисление кремния
653
$a нанополупроводниковые структуры
700
1
$a Биленко, Давид Исаакович
700
1
$a Вениг, Сергей Борисович
700
1
$a Терин, Денис Владимирович
830
0
$a Материаловедение и технология новых материалов
852
4
$a RU-ToGU $h 538.9 $i М545 $n ru
907
$a Конкурс Университетская книга-2018
908
$a учебник
999
$a VIRTUA
999
$a VTLSSORT0080*0200*0201*0350*0400*0800*0801*0802*2450*2600*3000*4900*5000*5040*6530*6531*6532*6533*6534*6535*6536*6537*6538*6539*65310*65311*65312*65313*65314*65315*65316*65317*65318*65319*65320*65321*65322*65323*65324*65325*65326*7000*7001*7002*8300*8520*9070*9080*9992
Нет комментариев.