Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем : [учебное пособие для студентов вузов по направлению подготовки высшего образования 03.03.02 - Физика] /А. М. Орлов, Б. М. Костишко, А. А. Скворцов ; Ульяновский гос. ун-т

Орлов, Анатолий Михайлович
Публикация
Ульяновск : [Ульяновский государственный университет] , 2015
Физическое описание
422 с.: ил., табл.
Издание
2-е изд., перераб. и доп.
Другой Автор
Костишко, Борис Михайлович
Скворцов, Аркадий Алексеевич.
Всего оценка: 0
Место хранения Расст.шифр Части Штрих-код Класс экземпляра Примечание Код коллекции Статус  
Читальный зал №5
537 О-664
13820000971042
Выдается в читальный зал
Доступно
Библиотека Радиофизического факультета
537 О-664
13820000973701
Выдается в читальный зал
В каталогизации
 
 
 
03149nam a2200529 i 4500
001
 
 
vtls000625903
003
 
 
RU-ToGU
005
 
 
20180504130400.0
008
 
 
180428s2015    ru a     b    000 0 rus d
020
$a 9785888665305
035
$a to000625903
039
9
$a 201805041304 $b cat31 $c 201805031510 $d cat40 $c 201804281653 $d cat33 $y 201804281537 $z cat33
040
$a RU-ToGU $b rus $c RU-ToGU
080
$a 537.311.322:621.382(075.8)
080
$a 537.311.322:621.382.049.77(075.8)
100
1
$a Орлов, Анатолий Михайлович
245
1
0
$a Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем $b [учебное пособие для студентов вузов по направлению подготовки высшего образования 03.03.02 - Физика] $c А. М. Орлов, Б. М. Костишко, А. А. Скворцов ; Ульяновский гос. ун-т
250
$a 2-е изд., перераб. и доп.
260
$a Ульяновск $b [Ульяновский государственный университет] $c 2015
300
$a 422 с. $b ил., табл.
504
$a Библиогр.: с. 410-414
653
$a физика полупроводниковых приборов
653
$a рост кристаллов
653
$a подложки для полупроводниковых приборов
653
$a подложки для интегральных микросхем
653
$a диэлектрические пленки
653
$a окисление кремния (физика полупроводниковых материалов)
653
$a диффузия в твердых телах
653
$a уравнения диффузии в твердых телах
653
$a дефекты кристаллов полупроводников
653
$a эпитаксия
653
$a литография в микроэлектронике
653
$a фотолитографические процессы
653
$a тонкие пленки поликристаллические
653
$a технологии интегральных микросхем
653
$a полупроводниковые приборы, сборка
653
$a производственный контроль качества
653
$a МДП-структуры
653
$a МДП-технологии
653
$a топология интегральных микросхем
700
1
$a Костишко, Борис Михайлович
700
1
$a Скворцов, Аркадий Алексеевич.
852
4
$a RU-ToGU $h 537 $i О-664 $n ru
907
$a Конкурс Университетская книга-2018
908
$a учебник
999
$a VIRTUA  
999
$a VTLSSORT0080*0200*0350*0400*0800*0801*1000*2450*2500*2600*3000*5040*6530*6531*6532*6533*6534*6535*6536*6537*6538*6539*65310*65311*65312*65313*65314*65315*65316*65317*65318*7000*7001*8520*9070*9080*9992
Нет комментариев.