Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка /Ли Цзень Фень, Г. Е. Ремнев, М. С. Салтымаков и др.

Электронный ресурс
Другой Автор
Ли Цзень Фень
Салтымаков, Максим Сергеевич
Гусельников, Виктор Иванович
Макеев, Вячеслав Анатольевич
Ивонин, Иван Варфоломеевич
Найден, Евгений Петрович 1940-2015
Юрченко, Василий Иванович
Ремнев, Геннадий Ефимович
Источник
Всего оценка: 0
Нет записей для отображения.
 
 
 
02554nab a2200421 c 4500
001
 
 
vtls000502363
003
 
 
RU-ToGU
005
 
 
20170612231700.0
007
 
 
cr |
008
 
 
170612|2007    ru      s         c rus d
035
$a to000502363
039
9
$a 201706122317 $b staff $c 201503310743 $d cat202 $c 201503302031 $d VLOAD $y 201503301027 $z VLOAD
040
$a RU-ToGU $b rus $c RU-ToGU
245
1
0
$a Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка $c Ли Цзень Фень, Г. Е. Ремнев, М. С. Салтымаков и др.
504
$a Библиогр.: 9 назв.
653
$a арсенид галлия
653
$a осаждение тонких пленок
653
$a абляционная плазма
653
$a ионные пучки импульсные
653
$a коэффициент эрозии мишени
655
4
$a статьи в журналах
700
0
$a Ли Цзень Фень
700
1
$a Салтымаков, Максим Сергеевич
700
1
$a Гусельников, Виктор Иванович
700
1
$a Макеев, Вячеслав Анатольевич
700
1
$a Ивонин, Иван Варфоломеевич
700
1
$a Найден, Евгений Петрович $d 1940-2015
700
1
$a Юрченко, Василий Иванович
700
1
$a Ремнев, Геннадий Ефимович
710
2
$a Томский государственный университет $b Физический факультет $b Кафедра физики полупроводников
710
2
$a Томский государственный университет $b Радиофизический факультет $b Кафедра радиоэлектроники
710
2
$a Томский государственный университет $b Сибирский физико-технический институт $b Научные подразделения СФТИ
773
0
$t Известия высших учебных заведений. Физика $d 2007 $g Т. 50, № 1. С. 66-70 $x 0021-3411 $w 0026-80960
852
4
$a RU-ToGU
856
7
$u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000502363
908
$a статья
999
$a VIRTUA
999
$a VTLSSORT0010*0030*0050*0070*0080*0350*0390*0400*2450*5040*6530*6531*6532*6533*6534*6550*6551*6552*7000*7007*7001*7002*7003*7004*7005*7006*7100*7101*7102*7730*8520*8560*9080*9992
Нет комментариев.
Предмет
статьи в журналах