Исследование лазерного отстрела пленки GaN от эпитаксиальной подложки излучением эксимерного KrF-лазера /П. А. Коняев, М. Е. Левицкий, Г. В. Симонова, В. Г. Соковиков

Электронный ресурс
Другой Автор
Левицкий, Михаил Ефимович
Симонова, Галина Владимировна
Соковиков, Владимир Григорьевич
Коняев, Петр Алексеевич
Источник
Всего оценка: 0
Нет записей для отображения.
 
 
 
01770nab a2200325 c 4500
001
 
 
vtls000449180
003
 
 
RU-ToGU
005
 
 
20170612215700.0
007
 
 
cr |
008
 
 
170612 2012    ru      s         c rus d
035
$a to000449180
039
9
$a 201706122157 $b staff $c 201305071253 $d VLOAD $c 201305070812 $d cat202 $y 201304301309 $z VLOAD
040
$a RU-ToGU $b rus $c RU-ToGU
245
1
0
$a Исследование лазерного отстрела пленки GaN от эпитаксиальной подложки излучением эксимерного KrF-лазера $c П. А. Коняев, М. Е. Левицкий, Г. В. Симонова, В. Г. Соковиков
504
$a Библиогр.: 5 назв.
653
$a светодиоды
653
$a нитрид галлия
653
$a технология "laser lift-off"
653
$a эксимерные лазеры
655
4
$a статьи в журналах
700
1
$a Левицкий, Михаил Ефимович
700
1
$a Симонова, Галина Владимировна
700
1
$a Соковиков, Владимир Григорьевич
700
1
$a Коняев, Петр Алексеевич
710
2
$a Томский государственный университет $b Радиофизический факультет $b Кафедра оптико-электронных систем и дистанционного зондирования
773
0
$t Известия высших учебных заведений. Физика $d 2012 $g Т. 55, № 9/2. С. 122-124 $x 0021-3411 $w 0026-80960
852
4
$a RU-ToGU
856
7
$u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000449180
908
$a статья
999
$a VIRTUA
Нет комментариев.
Предмет
статьи в журналах