Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем" : [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника] /С. П. Тимошенков, В. В. Калугин ; Нац. исслед. ун-т "МИЭТ"

Тимошенков, Сергей Петрович 1957-
Публикация
Москва : МИЭТ , 2011
Физическое описание
199 с.: ил.
Другой Автор
Калугин, Виктор Владимирович
Серия
Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"
Всего оценка: 0
Место хранения Расст.шифр Части Штрих-код Класс экземпляра Примечание Код коллекции Статус  
Книгохранилище
2-006707к
13820000816010
1 неделя
Доступно
 
 
 
02453nam a2200433 i 4500
001
 
 
vtls000430915
003
 
 
RU-ToGU
005
 
 
20120830071000.0
008
 
 
120830s2011    ru a     b    000 0 rus d
020
$a 9785725606638
035
$a to000430915
039
9
$a 201208300710 $b VLOAD $c 201208141817 $d cat31 $c 201206281314 $d acqs01 $y 201206281308 $z acqs01
040
$a RU-ToGU $b rus $c RU-ToGU
080
$a 621.38.049.77-022.532(075.8)
100
1
$a Тимошенков, Сергей Петрович $d 1957-
245
1
0
$a Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем" $b [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника] $c С. П. Тимошенков, В. В. Калугин ; Нац. исслед. ун-т "МИЭТ"
260
$a Москва $b МИЭТ $c 2011
300
$a 199 с. $b ил.
490
1
0
$a Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"
653
$a учебно-методические комплексы
653
$a микроэлектроника
653
$a наноэлектроника
653
$a наноструктуры кремниевые
653
$a кремний-на-изоляторе, технология
653
$a травление кремния жидкостное
653
$a травление кремния плазмохимическое
653
$a наноимпринт-процессы
653
$a платы коммутационные
653
$a наноэлектронные системы, герметизация
653
$a кремниевые пластины
653
$a пайка наноэлектронных систем
653
$a сборка наноэлектронных систем
653
$a монтаж наноэлектронных схем
700
1
$a Калугин, Виктор Владимирович
830
#
$a Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"
852
4
$a RU-ToGU $h 621.3 $i У912 $n ru
908
$a учебник
999
$a VIRTUA
999
$a VTLSSORT0010*0030*0050*0080*0200*0350*0390*0400*0800*1000*2450*2600*3000*4400*6530*6531*6532*6533*6534*6535*6536*6537*6538*6539*65310*65311*65312*65313*7000*8520*9080*9992
Нет комментариев.