Normal view
MARC view
Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [учебное пособие для студентов вузов по направлению подготовки высшего образования 03.03.02 - Физика] А. М. Орлов, Б. М. Костишко, А. А. Скворцов ; Ульяновский гос. ун-т
Material type:
TextPublication details: Ульяновск [Ульяновский государственный университет] 2015Edition: 2-е изд., перераб. и допDescription: 422 с. ил., таблISBN: 9785888665305Subject(s): физика полупроводниковых приборов | рост кристаллов | подложки для полупроводниковых приборов | подложки для интегральных микросхем | диэлектрические пленки | окисление кремния (физика полупроводниковых материалов) | диффузия в твердых телах | уравнения диффузии в твердых телах | дефекты кристаллов полупроводников | эпитаксия | литография в микроэлектронике | фотолитографические процессы | тонкие пленки поликристаллические | технологии интегральных микросхем | полупроводниковые приборы, сборка | производственный контроль качества | МДП-структуры | МДП-технологии | топология интегральных микросхем
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| Выдается по месту хранения | Читальный зал 5 | 537 О-664 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000971042 | |
| 1 месяц | Читальный зал. Депозитарий | 537 О-664 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000973701 |
Библиогр.: с. 410-414
There are no comments on this title.