Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Базовые технологии микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" В. М. Воротынцев, В. Д. Скупов

By: Воротынцев, Владимир МихайловичContributor(s): Скупов, Владимир ДмитриевичMaterial type: TextTextLanguage: Russian Publication details: Москва Проспект 2019Description: 519 с. ил., таблISBN: 9785392303083Subject(s): микроэлектроника | наноэлектроника | материалы микроэлектроники | материалы наноэлектроники | полупроводниковые материалы высокочистые, технологии получения | полупроводниковые подложки, обработка абразивная | полупроводниковые подложки, обработка химическая | приборные структуры, технологии формирования | эпитаксия газофазная, метод | эпитаксия жидкофазная, метод | эпитаксия молекулярно-лучевая, метод | осаждение диэлектрических слоев | литография в микроэлектронике | легирование полупроводников | осаждение тонких пленок | радиационно-термические обработки | электронные структуры, технологии изготовления | кремний на диэлектрике, структуры | наноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание | квантоворазмерные структуры | микротехнологии в микросистемной технике | нанотехнологии в микросистемной технике | дефекты в кристаллах, классификация | собственные точечные дефекты | кристаллы бездислокационные | дефектообразование в приборных структурах | дислокационная структура кристаллов | контрольные вопросыOther classification: З844.1-06я73-1
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Item type Current library Call number Status Date due Barcode
1 неделя Читальный зал 5 621.3 В758 (Browse shelf (Opens below)) Available 13820001015833
6 месяцев Абонемент. Депозитарий 62 В758 (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000997790
6 месяцев Библиотека РФФ 621.3 В758 (Browse shelf (Opens below)) Checked out 16/08/2024 13820001004906
Выдается по месту хранения Читальный зал 5 621.3 В758 (Browse shelf (Opens below)) Available 13820001004905

Библиогр. в конце гл.

There are no comments on this title.

to post a comment.