Normal view
MARC view
Технология СБИС [Кн.] 2 в 2 кн. [Могэб К., Фрейзер Д., Фичтнер У.] ; под ред. С. Зи ; пер. с англ. В. Н. Лейкина ; под ред. Ю. Д. Чистякова [и др.]
Material type: TextPublication details: Москва Мир 1986Description: 453 с. илOther title: VLSI Technology [Parallel title]Subject(s): интегральные схемы сверхбольшие кремниевые | ионно-плазменные технологии | металлизация интегральных схем | герметизация интегральных схем | тестирование интегральных схем | надежность интегральных схем | травление сухое интегральных схем | сборка интегральных схем | контроль интегральных схем | диагностика интегральных схем | миниатюризация интегральных схем | литография интегральных схем | ионная имплантация интегральных схем | технология интегральных микросхемItem type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode |
---|---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-619087к (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000783131 | ||
1 месяц | Книгохранилище | 1-624937 (Browse shelf (Opens below)) | 1 | Available | 13820000147727 |
Авт. указаны на обороте тит. л.
Библиогр. в конце глав.
Предм. указ.: с. 445-451
There are no comments on this title.