Normal view
MARC view
МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники Р. Х. Акчурин, А. А. Мармалюк
Material type: TextLanguage: Russian Series: Мир материалов и технологийPublication details: Москва Техносфера 2018Description: 487 с. ил., таблISBN: 9785948365213Subject(s): полупроводниковые материалы, технология | полупроводниковые структуры, эпитаксиальное выращивание | интегральные схемы полупроводниковые пленочные | эпитаксиальные пленки полупроводниковые, нанесение | МОС-гидридная эпитаксия, метод | эпитаксиальные структуры полупроводников, формирование | эпитаксиальные структуры полупроводников наноразмерные, формирование | эпитаксиальные гетероструктуры полупроводников, формирование | металлоорганические соединения и гидриды, взаимодействие | эпитаксиальные слои полупроводников, выращивание | МОС-гидридная эпитаксия, оборудование | материалы электронной техникиOther classification: З843.308,07 | З844.13-060.7,0Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
---|---|---|---|---|---|
Выдается по месту хранения | Читальный зал 5 | 621.3 А448 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000983971 | |
1 месяц | Читальный зал. Депозитарий | 621.3 А448 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000983972 |
Библиогр. в конце гл.
There are no comments on this title.