Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники Р. Х. Акчурин, А. А. Мармалюк

By: Акчурин, Рауф ХамзиновичContributor(s): Мармалюк, Александр Анатольевич, 1970-Material type: TextTextLanguage: Russian Series: Мир материалов и технологийPublication details: Москва Техносфера 2018Description: 487 с. ил., таблISBN: 9785948365213Subject(s): полупроводниковые материалы, технология | полупроводниковые структуры, эпитаксиальное выращивание | интегральные схемы полупроводниковые пленочные | эпитаксиальные пленки полупроводниковые, нанесение | МОС-гидридная эпитаксия, метод | эпитаксиальные структуры полупроводников, формирование | эпитаксиальные структуры полупроводников наноразмерные, формирование | эпитаксиальные гетероструктуры полупроводников, формирование | металлоорганические соединения и гидриды, взаимодействие | эпитаксиальные слои полупроводников, выращивание | МОС-гидридная эпитаксия, оборудование | материалы электронной техникиOther classification: З843.308,07 | З844.13-060.7,0
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Item type Current library Call number Status Date due Barcode
Выдается по месту хранения Читальный зал 5 621.3 А448 (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000983971
1 месяц Читальный зал. Депозитарий 621.3 А448 (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000983972

Библиогр. в конце гл.

There are no comments on this title.

to post a comment.