Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Формирование a-C:H:SiOx пленок методом плазмохимического осаждения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 01.04.04 Гренадёров Александр Сергеевич

By: Гренадеров, Александр СергеевичContributor(s): Институт сильноточной электроники (Томск)Material type: TextTextPublication details: Томск [б. и.] 2018Description: 20, [1] с. илSubject(s): физическая электроника | авторефераты диссертаций
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Item type Current library Call number Status Date due Barcode
Выдается в читальный зал Книгохранилище 2-033065 (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000975776

Библиогр.: с. 19-20

There are no comments on this title.

to post a comment.