Normal view
MARC view
Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2 учебное пособие : [для студентов, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия"] Ю. Б. Цветков ; Московский гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана (нац. исслед. ун-т)
Material type:
TextLanguage: Russian Publication details: Москва Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана 2018Description: 122, [1] с. ил., табл., цв. илISBN: 9785703848647Subject(s): учебные пособия для вузов | микроэлектроника, технологические процессы | интегральные микротехнологии | интегральные микросхемы, производство | КМОП-микросхемы | КМОП-технологии | микроэлектромеханические системы | особенности производства | микродатчики давления | чувствительные элементы датчиков | кремниевые пластины монокристаллические | кремниевые пластины, параметры | монокристаллический кремний | монокристаллы, выращивание | кремниевые пластины, обработка | термическое оксидирование | оксидирование, стадии | диоксид кремния, свойства | диоксид кремния, структура | Дила-Гроува модель роста оксида | термическое оксидирование промышленноеOther classification: З844.1-06я73-1
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| Выдается по месту хранения | Читальный зал 5 | 621.3 Ц274 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000998277 | |
| 1 месяц | Читальный зал. Депозитарий | 621.3 Ц274 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000998278 |
Библиогр.: с. 52, 121
There are no comments on this title.