Normal view
MARC view
Методы и средства контроля процессов и структур in situ Ч. 2 учебное пособие для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по направлениям "Физика и астрономия", "Информатика и вычислительная техника", "Электроника, радиотехника и системы связи", "Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии", "Технологии материалов", "Управление в технических системах" : в 2 ч. [Д. И. Биленко, С. Б. Вениг, Д. В. Терин и др.] ; под общ. ред. Д. И. Биленко, С. Б. Венига ; Саратов. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского
Material type:
TextSeries: Материаловедение и технология новых материаловPublication details: Саратов Издательство Саратовского университета 2016Description: 114, [1] с. ил., таблISBN: 9785292042822; 9785292043935Subject(s): наноструктуры | микроструктуры | измерения in situ | нанометровые слои | обработка данных измерений высокоскоростная | управление технологическими факторами | управление качеством | управление инновациями | наноструктуры, мониторинг свойств | наноструктуры, мониторинг технологии | математическое описание экспрессное | разработка технологических процессов научная, методология | планирование эксперимента многофакторное | измерения in situ многопараметровые | измерения in situ параллельные | массивы данных многомерные | эллипсометры спектральные | спектрофотометрия | нанослои, формирование | массоперенос локальный | туннельный эффект | нанопроволоки серебра | кремний пористый, образование | примеси мелкие, концентрация | рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия | окисление кремния | нанополупроводниковые структуры
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 2-031536 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000969868 | |
| Выдается по месту хранения | Читальный зал 5 | 538.9 М545 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000973714 |
Авт. указаны на обороте тит. л.
Библиогр. в конце разд.
There are no comments on this title.