Normal view
MARC view
Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Технология наносистем" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника] С. П. Тимошенков, В. В. Калугин ; Нац. исслед. ун-т "МИЭТ"
Material type:
TextSeries: Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 24 с. илSubject(s): учебно-методические комплексы | кремний-на-изоляторе, технология | микроэлектроника | наноэлектроника | кремниевые пластины | методы сращивания пластин | метод газового скалывания | имплантация ионов водорода | поверхности полупроводников
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 2-006705к (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000816011 |
There are no comments on this title.