Normal view
MARC view
Имплантация ионов бора в варизонные эпитаксиальные пленки МЛЭ КРТ А. В. Войцеховский, Д. В. Григорьев, А. Г. Коротаев и др.
Material type: ArticleSubject(s): труды ученых ТГУ | производство приборов | электронная техника | варизонные структуры | теоретическое моделирование | ионная имплантация In: Высокие технологии в промышленности России материалы и устройства функциональной электроники и нанофотоники : материалы XI международной научно-технической конференции Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2005, 8-10 сентября. Тонкие пленки в электронике : материалы XVII международного симпозиума Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана 2005, 8-10 сентября С. 171-178No physical items for this record
Библиогр.: 21 назв.
There are no comments on this title.